改造蒸发台行星盘系统提升工艺可靠性

摘要：

目标设备蒸发台无法对行星盘实际转速做实时监控,工艺过程中晶圆产品转速处于失控状态,有很大的生产可靠性风险.针对这一问题对行星盘的转速监测系统做优化改造,实现了行星盘实际转速在设备电脑端的实时测量和实时控制.在行星盘转速出现异常时,设备能够立即停止工艺,等待人员处理,有效保证了晶圆产品的生产安全.同时,通过改造对载片行星盘转速直接测量控制,保证了工艺参数的精准度.

关键词：蒸发台、行星盘系统、设备改造

所属期刊栏目：51

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2022-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：42-44,51