碳化硅材料装备技术现状

摘要：

碳化硅材料面临着巨大的市场需求,该材料的生产装备却仍然严重依赖进口,国产程度低下,从原材料生产到衬底加工涉及到的材料装备的角度出发,分类介绍了各类装备技术现状.

关键词：碳化硅、装备、第三代半导体

所属期刊栏目：51

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2022-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：14-16,55