NIKON NSR步进重复光刻机对准原理及典型故障修复

摘要：

论述了NIKON NSR步进重复光刻机对准系统工作原理,包括掩模版对准和圆片对准;列出了对准过程中遇到的常见故障,并提出了对应的解决方法,对设备运行过程中出现的对准方面的故障修复有一定的指导作用.

关键词：对准系统、掩模版对准、圆片对准、故障修复

所属期刊栏目：51

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2022-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：30-35