电镀技术在大马士革工艺中的应用研究

摘要：

电镀是一种良好的实现金属沉积的电化学工艺方法.为探索电镀技术在大马士革工艺中的应用,先介绍了电镀的基本理论,然后阐述了双大马士革的工艺流程,继而从电镀液和脉冲电镀方面分析了电镀对大马士革工艺的影响.结果表明镀液中的Cl-对电镀有催化作用,脉冲电镀比直流电镀所需的时间短,电流密度对镀层的生长方式影响不大,脉冲时间对填充速率有重要影响.最后提出,应该从电镀设备、电镀液、工艺参数各方面进行研发,从而改善电镀效果,促进集成电路产业的快速发展.

关键词：集成电路、铜电镀、大马士革工艺

所属期刊栏目：51

分类号：TQ153

在线出版日期：2022-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24