SiC高温快速退火加热系统设计与研究

摘要：

SiC芯片注入激活设备具有高温特点,传统的加热方式通常采用感应式和电阻式加热,采用电阻加热方式具有温度精度高、能耗小等优势.根据SiC高温快速退火设备的特点,深入结合工艺需求,通过采用正向设计手段,对功率计算、材料选型、加热器结构设计、电学参数分配,以及温控系统设计方面进行研究.

关键词：碳化硅、快速退火设备、加热系统、正向设计

所属期刊栏目：51

分类号：TN304.5(半导体技术)

在线出版日期：2022-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-14,35