碲锌镉晶片表面精密抛光系统研究

摘要：

介绍了表面抛光的工艺过程和技术原理,对影响抛光质量的关键部件抛光盘主轴和承载器进行分析研究.通过抛光压力精密控制,抛光结果满足晶片表面平坦化要求.

关键词：碲锌镉、表面抛光、承载器

所属期刊栏目：51

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2022-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：8-11