喷雾腐蚀机在Ti/Al腐蚀工艺中的应用

摘要：

介绍了喷雾腐蚀机的主要结构和设计优点,简述了SiC功率器件Ti/Al湿法腐蚀工艺;并就生产过程中出现的腐蚀液温度控制、液位传感器、图像识别对中等方面存在的不足做了相应改进.提高了工艺稳定性和生产效率.

关键词：喷雾腐蚀机、碳化硅、钛/铝、腐蚀液温度、液位传感器、对中

所属期刊栏目：51

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2022-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：4-7,24