CMP清洗传输机械手的优化设计

摘要：

为了提高现有清洗机械手结构的适用性和可靠性,通过调研实际工况和有限元分析,对现有清洗机械手进行结构和尺寸优化.通过优化分析,晶圆的脱片和碎片风险得以降低,清洗机械手的适用性和可靠性得到了实质性提升.

关键词：清洗机械手;化学机械抛光(CMP);有限元分析

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2022-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：64-68