离子注入机离子束生成系统的原理及维修

摘要：

介绍了离子注入机的整体结构及典型离子束生成系统的结构与工作原理.以表格的形式给出了常见的故障现象、可能原因及处理方法,对未来离子束生成系统的维修具有一定的指导作用.

关键词：离子注入机;离子束生成系统;维修技术

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2022-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：32-34,40