全自动化学抛光机系统设计

摘要：

针对碲锌镉晶片的化学抛光处理工艺需求,按照全自动工艺处理要求,设计了一套全自动化学抛光设备,实现了自动上下料、自动抛光、自动清洗吹干等工艺步骤,并介绍了全自动化学抛光设备的系统设计及实现.

关键词：碲锌镉晶片;化学抛光机;系统设计

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2022-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-31