集成电路装备的智能装配平台研究

摘要：

为了提高复杂集成电路装备制造质量,介绍了一款适用于集成电路装备制造的智能化装配平台.通过智能调度系统,将不同功能模块组合成可以完成不同生产模式的柔性装配平台,在光刻机精密运动台装配中使用,可提高装配的一致性和质量,实现了闭环装配与数字化装配,提升了零部件装配质量与效率.

关键词：集成电路;光刻机;智能装配

所属期刊栏目：50

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2022-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：21-27