VDMOS器件制造中的湿法工艺与设备研究

摘要：

简述了VDMOS器件制造工艺流程,介绍了其中常用的RCA清洗、SPM去胶、BOE腐蚀、Al腐蚀等湿法工艺,并对相关湿法设备的配置以及工作原理进行了介绍.

关键词：VDMOS器件;湿法设备;RCA清洗;SPM去胶;BOE腐蚀;铝腐蚀

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2022-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-20