离子注入机用层叠开放式加速电源的研制

摘要：

介绍了一种离子注入机用、最高电压达到350 kV的层叠开放式加速电源的研制方法.通过将倍压部分设计为层叠开放式、高集成化的倍压筒结构,实现了倍压筒的长期可靠性和绝缘性能,提升了高压电源的电压等级和整体性能.

关键词：离子注入机;高压电源;层叠开放;均压环;倍压筒

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2022-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-15