150mm圆片在光刻机内旋转135°曝光的方法

摘要：

论述了NIKON i12D(type3)光刻机Notch定位原理和圆片搜寻对准原理.根据150 mm(6英寸)圆片晶向,提出了一种在圆片被送入承片台之前将其Notch旋转135°的方法,完成设计出图、零件加工、安装调试.测试结果表明,该方法成功率高,重复性好,能够显著降低划片崩边概率,提高划片完好率.

关键词：光刻机;Notch定位;旋转

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2022-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：7-11,63