探针测试台X-Y工作台电机控制

摘要：

探针测试台测试晶圆效率的高低与步进精度、工作台控制的方法、稳定性及快捷性密切相关.介绍了探针测试台X-Y工作台常见类型和电机控制的一般原则,并提供了解决方案.

关键词：探针台;X-Y工作台;电机驱动;步进电机;伺服电机

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：64-67