链式退火炉电气系统的研制

摘要：

介绍了一种用于链式退火炉的电气系统,采用单相晶闸管交流调压器进行加热功率控制,模块化的软件控温方式配合独特的炉膛设计,满足了大炉膛内温度均匀性的要求.合理的温区分布,适合于灵活调整工艺曲线.电气布局设计,减小了噪声干扰,系统运行可靠性高.

关键词：链式退火炉;加热功率;温度均匀性;温度控制

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：55-59