氢气退火炉关键部件研究与开发

摘要：

氢气尾气处理部分由炉门密封系统和尾气燃烧处理系统两部分组成,是涉及设备安全使用的关键部件,为了保障氢气退火炉的安全性和稳定运行,通过优化炉门密封结构,创新设计一种新型尾气燃烧装置;并对炉门密封系统的结构和安全逻辑以及尾气燃烧处理系统的结构组成与安全逻辑进行了分析研究,对炉门密封圈处的热场进行了仿真分析,确保密封圈的安全有效运转.最终通过实践应用,该密封系统和尾气燃烧处理系统结构稳定可靠,能够满足设备的安全使用要求.

关键词：氢气退火;炉门密封;尾气燃烧处理;安全逻辑

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：50-54