离子束刻蚀技术与设备常见故障分析

摘要：

介绍了离子束刻蚀技术的特点及其基本原理,并以某型号离子束刻蚀机为例,重点介绍了该设备组成结构与工作原理.同时,根据以往维修经验,总结归纳了该设备的常见故障,并对故障原因进行了深入分析,给出了相应的解决措施.

关键词：离子束刻蚀;射频离子源;中和器;离子光学系统

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2021-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：33-38