期刊专题

10.3969/j.issn.1004-4507.2021.05.006

碳化硅用多线切割机张力控制系统技术研究

引用
介绍了一种碳化硅用多线切割机张力控制系统的组成结构、工作原理,通过对多线切割机张力控制系统进行深入地理论研究,建立了控制系统的运动学和动力学模型.在此基础上,提出了一种PID速度同步跟随控制方案,经多次实验数据和结果表明,该方案可靠、稳定、控制精度高、调整方便.

碳化硅;多线切割机;张力控制系统

TN305(半导体技术)

2021-12-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共5页

22-26

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电子工业专用设备

1004-4507

62-1077/TN

2021,(5)

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