MOCVD设备射频感应加热原理与故障分析

摘要：

介绍了MOCVD设备射频感应加热系统的工作原理及技术特点.结合射频感应加热系统的组成,详细叙述各主要模块的典型故障及维修技术,重点分析射频功率源电路故障及维修.针对射频系统阻抗失配现象,提出了阻抗匹配调整的实用方法.根据多年的设备维护经验,归纳MOCVD设备射频感应加热系统的常见故障,给出了快速检查处理措施.

关键词：金属有机物化学气相淀积;射频感应加热;阻抗匹配;振荡器

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2021-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：16-21