自动化离子注入设备控制系统的研究与设计

摘要：

研究了离子注入设备的结构组成和工艺流程,介绍了设备控制系统的架构和功能设计思路.利用有限状态机中的层级状态机思路,建立了晶圆传输设备的个体行为分层模型,作为控制系统的基础,并且建立了强时序性的逻辑调度任务状态模型.通过获取系统运行晶圆数量及工艺顺序,模拟晶圆的运行路径,以系统工艺时间效率为评价标准,采用分段调度策略寻找最优路径的方法,设计了一套自动上下料的控制系统.

关键词：离子注入;晶圆传输;有限状态机;分段调度策略

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：11-15,38