引线键合设备压力控制机构的研究

摘要：

焊接压力是全自动引线键合设备影响键合强度的重要因素,为了达到高控制精度的焊接压力,提出了弹性压力输出机构,介绍了其主要结构和工作原理,并且利用Solidworks软件进行静态力学仿真,得到不同参数下板簧结构的劲度系数.根据设备性能需求,选取合适的板簧结构参数,通过加工装配测试,焊接压力控制精度可以达到±0.01 N,并通过引线键合测试,得到很好的焊接效果,为今后研制更加稳定的引线键合设备提供了很好的依据.

关键词：焊接压力;弹性压力输出机构;劲度系数;引线键合

分类号：TN305.93(半导体技术)

在线出版日期：2021-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-6,26