全自动键合机送线装置研究

摘要：

通过对自动键合机送线装置的构成和原理进行研究,并结合键合工艺对送线系统进行分析,提出送线装置的结构优化方案,进而为提高自动键合机的效率和稳定性提供理论支持.

关键词：键合机;送线装置;空气导向器;张紧装置

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-22,67