真空共晶炉的改进与提升

摘要：

介绍了真空共晶炉,通过热仿真分析得出提高真空共晶炉温度均匀性的方法,对真空共晶炉进行改进,提高了设备的温度均匀性和冷却速率,并对改进后的设备进行了测试,测试结果满足了设计的要求.

关键词：真空共晶炉、温度均匀性、冷却速率、热仿真分析

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：54-59