一种精密流场维持系统的设计与应用

摘要：

对一种精密流场维持系统进行了设计,包括软件模块、维持单元控制模块、供液控制模块、运动平台控制模块等,并通过这一控制系统实现了精密流场的建立、动态维持和撤销等功能.使用流场温度测量系统、流场压力测量系统、流场气泡观测系统对相关流场进行了测量与验证,测试结果表明,流场的温度梯度、压力波动、气泡数量等指标达到实验要求.

关键词：流场维持系统、流场温度测试、流场压力测试、流场气泡测试

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：42-45