BAK蒸发台金属薄膜分层台阶现象探究

摘要：

基于BAK双源蒸发台对蒸发工艺中出现的多层金属边缘分层台阶现象进行探究,分析出各种可能因素并经过推理计算确定了主要原因.模型理论计算与实际测量结果相似度达98％.同时对机台结构做了部分优化改造,彻底解决了蒸发金属薄膜的分层现象,保证了金属化蒸发工艺的镀膜质量.

关键词：蒸发、薄膜、分层、改造

所属期刊栏目：50

分类号：TN305.8(半导体技术)

在线出版日期：2021-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：25-28,69