自动称重系统在全自动硅片上下料机的应用

摘要：

以自主研发的刻蚀工序自动化设备为基础,设计上下料机自动称重系统,测量刻蚀工艺前后电池片的减薄量变化,为工艺优化提供有力数据支持,同时提高效率,避免人工称重对电池片的污染和产能的影响.

关键词：光伏、刻蚀、称重系统、减薄量

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-24,59