CMP干燥模组控制软件设计

摘要：

介绍了旋转干燥和异丙醇加热雾化干燥的工作原理,深入分析了控制软件的需求,利用面向对象的设计方法,完成了系统架构的设计,并对干燥加工、异丙醇补液、参数监控3个关键功能模块进行了设计,目前该软件已在设备端应用中达到了理想的工艺性能.

关键词：半导体制造、控制软件设计、面向对象、晶圆干燥、化学机械抛光

所属期刊栏目：50

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2021-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：16-20