一种MEMS用硅单晶的缺陷检验方法

摘要：

为了查找影响MEMS(微机电系统)器件缺陷的关键因素,通过模拟键合硅片的加工工艺开展了实验,探索出一种MEMS用硅单晶的缺陷检验方法.结果表明这种检验方法可以提前判断硅单晶是否可用于MEMS体硅工艺,对工业化生产具有很好的指导借鉴作用.

关键词：微机电系统、单晶缺陷、检验方法

所属期刊栏目：50

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：43-45