CMP在线光学终点检测算法研究及应用

摘要：

介绍了化学机械抛光(CMP)中表面膜层为金属和非金属晶圆的在线终点检测原理.研究了窗口检测算法,实时检测光强变化趋势,抓取趋势特征点,从控制抛光过程,实现CMP在线终点检测.实验结果表明,检测算法可达到预期的检测精度,能够满足生产实际需要.

关键词：化学机械抛光、在线终点检测、窗口检测、算法、特征点

所属期刊栏目：50

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：37-42