远程运维技术在共烧陶瓷基板制造设备中的应用

摘要：

针对共烧陶瓷器件技术的发展趋势,阐述了远程运维技术在共烧陶瓷基板制造工艺中的应用优点及其技术可行性;重点从远程运维系统设计、数据采集设计方案、运行效果等方面论述了远程运维在基板制造关键工艺设备生瓷片打孔机、生瓷片印刷机中的应用,采用这种方式实现了不同地域设备的状态监控、关键部件监控分析等功能.

关键词：远程运维、共烧陶瓷、生瓷片、打孔机、印刷机、数据采集

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：2018年工信部智能制造综合标准化与新模式应用项目"集成电路封装关键设备远程运维标准与试验验证"A1807002

在线出版日期：2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：18-22