离子注入机分析器模型的自动调束控制方法

摘要：

采用系统辨识方法获得离子注入机分析器精确模型,然后将系统模型作为分析器控制器的前馈控制,提前预测控制输出,提高控制器的响应速度,并在此基础上增加反馈控制通道,用来修正模型误差和外界干扰.最后,将此控制方法应用于CIP300型离子注入机研发,自动调束的效率和成功率都有较大提升.

关键词：离子注入机、质量分析器、磁场测量与校准、自动调束

所属期刊栏目：50

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：15-17