基于双频电源的PECVD沉积设备设计与仿真

摘要：

介绍了基于双频电源PECVD沉积设备的电源系统设计,包括系统组成、射频电源的选取和调谐控制等.并对加载不同频率电源的PECVD反应室进行了仿真,一方面基于ANSYS软件的电磁场模块,对低频电磁场进行谐态电路有限元分析,得到反应室内电磁场分布;另一方面基于Ansoft HFSS对高频电磁场进行本征模态分析,得到各阶模态和频率.通过实际应用验证了该方案可靠有效.

关键词：等离子体增强化学气相沉积、双射频电源、调谐控制、电磁场仿真

所属期刊栏目：50

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-14,66