基于模糊PID控制的晶圆精密磨削控制系统

摘要：

根据晶圆自旋转磨削的特点,建立了基于模糊PID控制的精密磨削控制系统,该系统主要是通过模糊PID的方法调节磨削进给速度,以实现磨削时对磨削力的控制,并与普通模式进行了实验对比.实验结果表明,基于模糊PID控制算法的精磨磨削能够获得更稳定的磨削力和更高的磨削效率.

关键词：精密磨削、进给速度、磨削功率、磨削力、模糊控制

所属期刊栏目：50

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,56