期刊专题

10.3969/j.issn.1004-4507.2021.01.010

提高二维工作台定位精度的误差补偿方法研究

引用
通过测量二维工作台XY轴直线度误差、垂直度误差、定位精度误差等,采用水平分割法对误差线性拟合,分析了每种误差对单轴定位精度和关联轴定位精度的影响,这种补偿方法能够有效地提高二维工作台的定位精度.

水平分割法、误差补偿、定位精度

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TH161+.2

2021-03-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

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电子工业专用设备

1004-4507

62-1077/TN

50

2021,50(1)

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