多段可控式加热台的性能测试与应用验证

摘要：

介绍了一种自主研发的多段可控加热台的系统构造与工作原理,对其相关性能进行了测试,并在介电材料聚酰亚胺的制备过程中,对其进行了实际应用验证.结果表明,该加热台在PLC控制器与温控器的综合控制下,最多可设置12段加热温度曲线,可实现室温至450℃范围内温度的连续调节,升温速率范围为0～20℃/min;在升温速率较小(如1～5℃/min)的情况下,具有温控精度高(优于±1℃)、超调量小、稳定性高等优点;同时,该加热平台使用灵活,既可单独使用,也可集成到其它设备中作为加热附件使用.但由于加热面积大(300 mm×200 mm),当升温速率较大时,也存在加热滞后现象.

关键词：多段可控式加热平台、性能测试、应用验证

所属期刊栏目：49

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2021-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：37-41