高产能微波等离子体平板式PECVD设备研制

摘要：

介绍了该设备的工作原理及主要构成,详细阐述了大型等离子体处理腔室的真空系统设计,对真空泵的选型进行了探讨,得到了不同工艺条件下的真空泵抽气曲线,在此基础上,采用有限元分析软件对其腔室结构进行了优化分析,并给出了量产工艺数据.

关键词：平板式PECVD设备、钝化膜、微波、等离子体、反应室、太阳能电池

所属期刊栏目：49

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2021-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：27-30,36