氮化铝高温隧道烧结炉控制系统设计

摘要：

阐述了一种氮化铝高温隧道烧结炉控制系统,讨论了系统的温度控制和安全防护控制,设计了系统自动工艺的工作流程,并给出了实现的关键代码.

关键词：氮化铝、高温隧道烧结、控制系统

所属期刊栏目：49

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：23-26