提高离子注入机晶圆机械传输效率及晶圆散热优化研究

摘要：

针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输效率,同时开展晶圆温度技术研究,通过提升晶圆的扫描速度实现晶圆表面热量的减少,改善了工艺加工后晶圆的整体质量及性能.

关键词：离子注入机、晶圆传输、机械手、晶圆散热优化

所属期刊栏目：49

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2021-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：17-22