离子注入机静电夹持晶圆的温度仿真研究

摘要：

介绍了离子注入机的结构原理、常用注入机的类型及其应用,以及夹持并冷却晶圆的关键部件——静电吸盘.构建了离子注入时晶圆的热仿真模型,对晶圆表面的温度分布进行了数值分析计算.

关键词：离子注入机、静电夹持、晶圆温度值分析

所属期刊栏目：49

分类号：TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2021-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-16