浅论非SiC类的非金属材料加热器

摘要：

针对MoSi2和石墨这两类非金属加热器的机械、化学特性以及耐温等指标,分别进行了分析和阐述,分析了此类加热器的优缺点,介绍了加热器的加工工艺过程,提出了此类加热器的使用特点和注意事项.

关键词：MoSi2加热器、石墨加热器、使用寿命、加热特性、使用注意事项

所属期刊栏目：49

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2020-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：50-55