激光干涉仪在XY工作台测量中的应用

摘要：

激光干涉位移测量技术是目前位移测量领域的主流技术.其具有分辨率高、测量速度快、溯源好的特点.利用激光干涉位移测量技术,可以实现工作台的高精度测量.首先介绍了目前主要的激光干涉位移测量技术,并对干涉仪的特点进行了分析,最后介绍了激光干涉位移测量在XY工作台定位精度、垂直度测量的应用.

关键词：纳米级、激光干涉、位移测量

所属期刊栏目：49

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2020-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：37-41