一种高精度化学腐蚀减薄设备与减薄工艺

摘要：

减薄设备是半导体工艺中的关键设备,针对软脆材料的化学腐蚀减薄,研制出一种高精度化学腐蚀减薄机.通过分析与减薄精度相关的参数,提出采用质量测量法来提高设备测量精度;通过采用不同浓度梯度药液提高工艺精度和速度;通过合理布局设备结构,提高了设备的稳定性、可靠性.

关键词：化学腐蚀减薄机、减薄工艺、质量测量法

所属期刊栏目：49

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2020-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：23-28