氮化铝高温隧道烧结炉设计及 试验研究

摘要：

针对以"新基建"为代表的通信领域对高功率、高性能电子元器件的需求,阐述了氮化铝陶瓷基板的优点和工艺复杂性;针对性开发高温烧结设备,并据此进行氮化铝陶瓷高温烧结工艺试验,分析了升降温速率、气氛场、烧结温度和时间等因素对高温烧结产品性能的影响.

关键词：高温隧道烧结炉、氮化铝陶瓷、高温烧结工艺

所属期刊栏目：49

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2020-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：27-32