基于BBr3液态硼源的管式扩散设备 研究与开发

摘要：

针对在以BBr3为液态掺杂源的N型晶硅电池扩散工艺过程中,扩散温度高,反应中间产物B2O3为液态,流动性较气态反应物差,副产物黏性较大,腐蚀石英件等特点,在硼扩散设备研制中通过炉门及尾气排放的设计,实现炉口炉尾的高温密封,缓解炉门粘连;优化进出气方式和石英管内压力及气流场控制,提高扩散均匀性;在工艺中增加通水蒸汽功能步,优化反应过程,减少副产物对石英件的腐蚀,降低石英件损耗成本,提高了硼扩散设备的生产效率.为N型晶硅电池硼扩散工艺提供了设备基础.

关键词：液态掺杂源(BBr3)、扩散设备、N型晶硅电池

所属期刊栏目：49

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2020-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12