多重互锁安全型氢氧合成系统

摘要：

介绍了半导体热氧化工艺以及热氧化工艺过程中外燃式氢氧合成系统的机理和优势,分析氢氧合成在使用过程中潜在的安全风险,有针对性的从结构、电气硬件和软件方面优化设计,提出了一种具有多重互锁功能的安全型氢氧合成系统,保证工艺过程安全可靠.

关键词：氢氧合成、热氧化工艺、安全互锁

所属期刊栏目：49

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2020-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-8,32