自动真空探针台技术研究

摘要：

从MEMS器件晶圆级测试过程中所需的特殊测试环境出发,简述了自动真空探针台的操作流程,介绍了设备的主要技术特点,并对该设备机械结构的特殊需求及后续开发方案进行了详细描述.

关键词：真空探针、真空腔体、承片台、探卡

所属期刊栏目：49

分类号：TN307(半导体技术)

在线出版日期：2020-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：66-70