薄膜高压传感器焊接封装技术研究

摘要：

测量高温、高压、强振动等恶劣环境下的压力,薄膜压力传感器具有不可替代的优势.结合薄膜传感器特点,设计全焊接式一体化结构,应用先进的焊接方法与焊接工艺进行传感器结构封装,可获得长期恶劣环境下应用的高可靠薄膜高压传感器.

关键词：薄膜高压传感器、焊接、封装

所属期刊栏目：49

分类号：S951.4+3(水产工程)

在线出版日期：2020-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：54-56,79