接近接触式光刻机三点找平机构研究与应用

摘要：

介绍了一种接近接触式光刻机对准工作台找平机构,该机构采用三点找平,容易找平,找平力小,找平时不损伤掩模版和基片涂胶面.结构简单,性能稳定可靠,维修方便.

关键词：三点找平、光刻机、找平力、楔形误差补偿

所属期刊栏目：49

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2020-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：47-49