光刻机多体动力学建模方法研究

摘要：

对虚拟样机技术的建模工具进行调研,最终选择SimMechanics工具箱作为光刻机动力学建模工具.用拉格朗日方法推导出多刚体系统动力学方程,并在原有商业软件的基础上进行二次开发,满足光刻机多体动力学建模的需求.

关键词：光刻机、动力学、仿真模型

所属期刊栏目：49

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2020-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34